发明授权
- 专利标题: 静态随机存储器之写入冗余度改善的方法
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申请号: CN201310492066.2申请日: 2013-10-18
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公开(公告)号: CN103579118B公开(公告)日: 2016-11-02
- 发明人: 俞柳江
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 陆花
- 主分类号: H01L21/8244
- IPC分类号: H01L21/8244
摘要:
一种静态随机存储器之写入冗余度改善的方法,包括:步骤S1:提供硅基衬底,并形成浅沟槽隔离;步骤S2:形成NMOS器件和作为上拉晶体管的PMOS器件;步骤S3:在NMOS器件和作为上拉晶体管的PMOS器件之源极区和漏极区进行源漏注入,并沉积氮化硅保护层;步骤S4:对NMOS器件和作为上拉晶体管的PMOS器件进行源漏退火工艺;步骤S5:刻蚀除去氮化硅保护层。本发明通过在制备应力记忆效应工艺光刻版时,使上拉晶体管之PMOS器件区域与NMOS器件被覆盖,在应力记忆效应工艺中,上拉晶体管和NMOS器件均被氮化硅保护层覆盖,之后进行源漏退火工艺,上拉晶体管的空穴迁移率被降低,从而增大上拉晶体管的等效电阻,在写入过程中,降低第二节点电位,从而提高其写入冗余度。
公开/授权文献
- CN103579118A 静态随机存储器之写入冗余度改善的方法 公开/授权日:2014-02-12
IPC分类: