用于热压键合的键合垫,用于制造键合垫的方法和构件
摘要:
本发明涉及一种用于将一载体材料(106)与另一载体材料进行热压键合(504)的键合垫(100),其中,所述键合垫(100)具有一基层(102)和一盖层(104)。由金属制成的基层(102)是可变形的并且与所述载体材料(106)连接,其中,所述金属是镍基的。所述盖层(104)是金属的并且直接与所述基层(102)连接。所述盖层(104)至少布置在所述基层(102)的背离所述载体材料(106)的侧面上。所述盖层(104)具有相对于所述基层(102)的一更小的层厚度,其中,所述盖层(104)特别是比所述基层(102)更加抗氧化。
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