发明公开
- 专利标题: 用于热压键合的键合垫,用于制造键合垫的方法和构件
- 专利标题(英): Bonding pad for thermocompression bonding, process for producing a bonding pad and component
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申请号: CN201310327730.8申请日: 2013-07-31
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公开(公告)号: CN103579156A公开(公告)日: 2014-02-12
- 发明人: C.谢林 , D.博罗夫斯基
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 梁冰; 杨国治
- 优先权: 102012213548.0 2012.08.01 DE
- 主分类号: H01L23/488
- IPC分类号: H01L23/488 ; H01L21/60
摘要:
本发明涉及一种用于将一载体材料(106)与另一载体材料进行热压键合(504)的键合垫(100),其中,所述键合垫(100)具有一基层(102)和一盖层(104)。由金属制成的基层(102)是可变形的并且与所述载体材料(106)连接,其中,所述金属是镍基的。所述盖层(104)是金属的并且直接与所述基层(102)连接。所述盖层(104)至少布置在所述基层(102)的背离所述载体材料(106)的侧面上。所述盖层(104)具有相对于所述基层(102)的一更小的层厚度,其中,所述盖层(104)特别是比所述基层(102)更加抗氧化。
IPC分类: