发明公开
- 专利标题: 制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing flip integrated LED chip light source module
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申请号: CN201310553600.6申请日: 2013-11-08
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公开(公告)号: CN103579478A公开(公告)日: 2014-02-12
- 发明人: 李璟 , 王国宏 , 王军喜 , 李晋闽
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 曹玲柱
- 主分类号: H01L33/62
- IPC分类号: H01L33/62 ; H01L33/64
摘要:
本发明提供了一种制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法。该方法包括:步骤A,在衬底上生长GaN材料,形成GaN外延结构;步骤B,对GaN外延结构进行深刻蚀工艺,形成多个独立的小LED材料结构;步骤C,对多个独立的小LED材料结构进行倒装LED芯片制备工艺,制备多个LED芯片的,与衬底接触的P电极和N电极;步骤D,对多个倒装LED芯片的P电极和N电极进行串并连工艺,形成倒装LED集成芯片;以及步骤E:对衬底抛光,喷涂荧光粉,切割成一颗颗倒装集成芯片,即倒装集成LED芯片级光源模组。采用本发明方法制备的倒装集成LED芯片级光源具有散热好、可大电流驱动、光效高等优点。
公开/授权文献
- CN103579478B 制作倒装集成LED芯片级光源模组的方法 公开/授权日:2016-05-18
IPC分类: