发明公开
- 专利标题： 压电体元件、压电体设备及其制造方法
- 专利标题（英）： Piezoelectric element, piezoelectric device and method of manufacturing piezoelectric element
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申请号： CN201310340890.6申请日： 2013-08-07
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公开(公告)号： CN103579491A公开(公告)日： 2014-02-12
- 发明人: 末永和史 , 柴田宪治 , 渡边和俊 , 野本明 , 堀切文正
- 申请人： 日立金属株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 日立金属株式会社
- 当前专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 钟晶; 於毓桢
- 优先权： 2012-174837 2012.08.07 JP
- 主分类号： H01L41/083
- IPC分类号： H01L41/083 ; H01L41/187 ; H01L41/35
摘要：
本发明涉及压电体元件、压电体设备及其制造方法。本发明稳定地提供高精度地控制压电体层的局部结构(原子的结合状态)并且压电特性优异的压电体元件、压电体设备。一种压电体元件，其为在基板上至少层叠下部电极层、由通式(NaxKyLiz)NbO3(0
公开/授权文献
- CN103579491B 压电体元件、压电体设备及其制造方法 公开/授权日：2018-01-30
IPC分类:
