本发明涉及反应精馏技术领域，在改良西门子法生产多晶硅工艺中，目前将副产物二氯二氢硅和四氯化硅转化为三氯化硅的工艺，存在转化率低，四氯化硅循环量大，设备投资大，能耗高，为了克服这些问题，本发明采用从四氯化硅精馏塔采出气相四氯化硅与二氯二氢硅换热后将它们作为原料进入反应精馏塔进行反应，反应精馏塔反应段设置有三节催化剂层组成的固定床，原料在催化剂作用下反应，四氯化硅从塔釜出来经冷却器冷却后进入反应段催化剂层进行循环回流，塔顶三氯氢硅气体经一级冷凝后得到液体三氯氢硅产品，不凝的气相二氯二氢硅经二级冷凝后进入反应段回流循环，本发明具有设备简单，反应面积大，投资少，能耗低，反应转化率高的有益效果。