发明公开
- 专利标题: 一种基于有机薄膜晶体管二氧化硫气体传感器的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of OTFT(organic thin-film transistor)-based sulfur dioxide gas sensor
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申请号: CN201310657575.6申请日: 2013-12-09
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公开(公告)号: CN103630577A公开(公告)日: 2014-03-12
- 发明人: 于军胜 , 黄伟 , 韩世蛟 , 王晓 , 张磊
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都华典专利事务所
- 代理商 徐丰; 杨保刚
- 主分类号: G01N27/00
- IPC分类号: G01N27/00
摘要:
本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管二氧化硫气体传感器的制备方法,包括以下步骤:先对衬底进行彻底的清洗,清洗后干燥;在衬底的表面制备栅电极,形成栅电极的图形;在镀有栅电极的基板的上制备介电层;对形成的介电层进行极性溶剂处理;在已形成栅电极,以及己覆盖经极性溶剂处理的介电层的基板上制备有机半导体层;然后制备源电极和漏电极,形成源电极,漏电极图案;气体的响应率显著提升,探测浓度下限更低;相对单晶的晶体管,有机薄膜晶体管更加容易制备,成本更低;基于界面修饰的有机薄膜晶体管将具有更快的响应速度,能实现气体的快速检测;降低了生产成本,更适宜大规模产业化生产。