电子显微镜成像系统及方法
摘要:
电子显微镜成像系统包括:电子显微镜,其包括电子柱和真空室,且具有光轴;氦供应组件,其用于将氦选择性地供应到真空室外面光轴附近的氦可富含容积区;在真空室外的样品支撑台,其设置以支撑着真空室外面将被电子显微镜成像的样品,所述样品支撑台还包括平移组件,其可操作以提供样品进入和离开氦可富含容积区的相对平移。
0/0