发明公开
CN103632912A 电子显微镜成像系统及方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 电子显微镜成像系统及方法
- 专利标题(英): Electron microscopy imaging system and method
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申请号: CN201210299149.5申请日: 2012-08-21
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公开(公告)号: CN103632912A公开(公告)日: 2014-03-12
- 发明人: D·沙哈尔 , R·德皮乔托
- 申请人: B-纳诺有限公司
- 申请人地址: 以色列雷霍沃特
- 专利权人: B-纳诺有限公司
- 当前专利权人: B-纳诺有限公司
- 当前专利权人地址: 以色列雷霍沃特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡胜利
- 主分类号: H01J37/22
- IPC分类号: H01J37/22 ; H01J37/26 ; H01J9/00
摘要:
电子显微镜成像系统包括:电子显微镜,其包括电子柱和真空室,且具有光轴;氦供应组件,其用于将氦选择性地供应到真空室外面光轴附近的氦可富含容积区;在真空室外的样品支撑台,其设置以支撑着真空室外面将被电子显微镜成像的样品,所述样品支撑台还包括平移组件,其可操作以提供样品进入和离开氦可富含容积区的相对平移。