公开(公告)号：CN102197301A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980142967.0

申请日：2009-09-24

申请人： B-纳诺有限公司

发明人： D·沙哈尔 ,  R·德皮乔托

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/4973

摘要： 一种被抽真空的装置，包括：密封外壳、电子束源、电子光学部件、薄膜、以及检测器。所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙。所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间。所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜。所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。

公开(公告)号：CN102197301B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN200980142967.0

申请日：2009-09-24

申请人： B-纳诺有限公司

发明人： D·沙哈尔 ,  R·德皮乔托

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/4973

摘要： 一种被抽真空的装置，包括：密封外壳、电子束源、电子光学部件、薄膜、以及检测器。所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙。所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间。所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜。所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。

公开(公告)号：CN103632912A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201210299149.5

申请日：2012-08-21

申请人： B-纳诺有限公司

发明人： D·沙哈尔 ,  R·德皮乔托

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J9/00

摘要： 电子显微镜成像系统包括：电子显微镜，其包括电子柱和真空室，且具有光轴；氦供应组件，其用于将氦选择性地供应到真空室外面光轴附近的氦可富含容积区；在真空室外的样品支撑台，其设置以支撑着真空室外面将被电子显微镜成像的样品，所述样品支撑台还包括平移组件，其可操作以提供样品进入和离开氦可富含容积区的相对平移。