具有整合型电力供应的装置
摘要:
本文涉及一种具有整合型电力供应的装置,所揭露的是半导体装置及用于形成半导体装置的方法。半导体装置包含晶粒。晶粒包含具有第一与第二主表面的晶粒衬底。半导体装置包含置于晶粒衬底的第二主表面下方的电力模块。电力模块是透过硅穿孔接点电耦合于晶粒。
公开/授权文献
0/0