Invention Publication
CN103671462A 基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘
失效 - 权利终止
- Patent Title: 基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘
- Patent Title (English): Piezoelectric valveless micropump suction cup based on parallel connection compliant mechanism
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Application No.: CN201310703902.7Application Date: 2013-12-19
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Publication No.: CN103671462APublication Date: 2014-03-26
- Inventor: 赵言正 , 刘积昊 , 曹峰 , 方刚 , 付庄 , 闫维新
- Applicant: 上海交通大学
- Applicant Address: 上海市闵行区东川路800号
- Assignee: 上海交通大学
- Current Assignee: 上海交通大学
- Current Assignee Address: 上海市闵行区东川路800号
- Agency: 上海新天专利代理有限公司
- Agent 祖志翔
- Main IPC: F16B47/00
- IPC: F16B47/00 ; B62D57/024

Abstract:
一种基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘,包括单晶硅衬底、铜基复合薄膜、柔顺机构和压电叠堆驱动器;柔顺机构设有形变位移输入部、形变位移输出部和定位槽;压电叠堆驱动器固定夹持在形变位移输入部上方的镂空处,并且与形变位移输入部紧密贴合;位于上层的铜基复合薄膜与位于下层的单晶硅衬底通过环氧结构粘结胶粘接组装成薄膜微泵,该薄膜微泵卡入柔顺机构的定位槽内并粘接密封,形变位移输出部的下端面与铜基复合薄膜的上平面贴合并粘接;柔顺机构将压电叠堆驱动器通电后产生的单向形变位移放大传动到铜基复合薄膜,驱动薄膜微泵工作,抽取设于单晶硅衬底下部的吸附腔内的气体,形成吸盘的负压。本发明体积小、重量轻、无噪声,可作为爬壁机器人的吸附装置。
Public/Granted literature
- CN103671462B 基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘 Public/Granted day:2015-10-14
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