带有底部金属基座的半导体器件及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种功率半导体器件的制备方法,更确切的说,本发明旨在提供一种带有底部金属基座的半导体器件及其制备方法。提供包含多个金属基座的引线框架,在每个金属基座的正面粘贴一个正面覆盖有顶部塑封层和背面覆盖有背部金属层的晶片,将各金属基座、连接部、带有顶部塑封层与背部金属层的晶片予以包覆的塑封体,对塑封体和连接部实施切割,以将塑封体、各金属基座及各带有顶部塑封层与背部金属层的晶片分离成多个单独的半导体器件。
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