一种具有选择特性的阻变存储器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种具有选择特性的阻变存储器及其制备方法。本发明的阻变存储器包括:顶电极、底电极以及二者之间的功能层;其中,功能层包括第一氧化层和第二氧化层;第一氧化层为靠近顶电极的完全配比的氧化层;第二氧化层为靠近底电极的非完全配比的氧化层。本发明采用分两次淀积功能层,形成具有氧组分不同的两层氧化层的功能层,靠近顶电极为完全配比的氧化层,而靠近底电极为非完全配比的氧化层;在顶电极与完全配比的氧化层之间势垒会明显提高,电子只能靠肖特基发射实现导电,低阻态具有非线性,器件具有选择特性。本发明在有效抑制误读现象的情况下,无需串联专门的选择管,工艺简单,成本低;并且与现有工艺兼容,有利于大规模工业生产。
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