层叠体、阻气膜以及它们的制造方法
Abstract:
本发明的层叠体(1),具有基材(2)、在基材(2)的外表面的至少一部分上形成的膜状或片状的底涂层(3、103)、以及在底涂层(3、103)的厚度方向的两个面中的与基材(2)接触的面的相反侧面上形成的原子层沉积膜(4),原子层沉积膜(4)的前驱体的至少一部分与底涂层(3、103)结合,原子层沉积膜(4)形成为覆盖底涂层(3、103)的膜状。
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