发明公开
- 专利标题: 一种激光直写系统与光刻方法
- 专利标题(英): Laser direct-writing system and photolithography method
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申请号: CN201410042111.9申请日: 2014-01-28
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公开(公告)号: CN103744271A公开(公告)日: 2014-04-23
- 发明人: 朱鹏飞 , 浦东林 , 胡进 , 陈林森 , 朱鸣 , 魏国军
- 申请人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区钟南街478号
- 专利权人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区钟南街478号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 唐灵; 常亮
- 主分类号: G03F7/207
- IPC分类号: G03F7/207 ; G03F7/20
摘要:
一种激光直写系统与光刻方法,包括焦距测量系统和曝光系统,所述焦距测量系统采用离线的方式测量整个待刻物体表面的三维形貌信息之后,将所述三维形貌信息转化为调焦信息并发送给所述曝光系统,所述曝光系统根据所述调焦信息,在对所述待刻物体表面进行光刻过程中,调节焦距以适合所述待刻物体表面的凹凸程度,使曝光点始终聚焦于所述光刻物体的表面。
公开/授权文献
- CN103744271B 一种激光直写系统与光刻方法 公开/授权日:2015-10-28
IPC分类: