用于4f相位相干成像系统的相位光阑
摘要:
本发明公开了一种用于4f相位相干成像系统的相位光阑,光阑本体由环状相位物体和环状相位物体内外两侧透光带构成,所述环状相位物体由两个半环形相位物体拼合而成,其中一个半环形相位物体与两侧透光带的相位差为,另一个半环形相位物体与两侧透光带的相位差为,式中,m,n为整数。本发明通过对相位光阑的结构改进,有效提高了4f相位相干成像法的检测灵敏度,同时降低了相位物体的加工难度。
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