玻璃基三维光电同传器件及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种玻璃基三维光电同传器件及其制作方法,其中光电同传器件玻璃基板,玻璃基板上依次设置有铜层、水平波导层以及上包层;玻璃基板上垂直设置有垂直光通孔和垂直玻璃通孔,铜层上布设有RDL图形,垂直光通孔中的芯层与水平波导层连为一体,水平波导层上设置有光电互连孔以及倒三角形反射镜,上包层上设置有开口;所述光电互连孔和开口电镀有金属。所述制作方法主要包括在玻璃基板上制作垂直玻璃通孔、垂直光通孔、蒸镀铜层、旋涂水平波导层、制作光电互连孔及反射镜、制作上包层的步骤。本发明能够在同一玻璃基板上实现光波导的水平光互连和垂直互连、垂直方向和水平方向的电互连以及光电之间相互传导的目的,制作工艺简单,成本低廉。
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