发明授权
CN103811390B 晶粒定位装置、晶粒定位系统与晶粒定位方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 晶粒定位装置、晶粒定位系统与晶粒定位方法
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申请号: CN201210491143.8申请日: 2012-11-27
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公开(公告)号: CN103811390B公开(公告)日: 2016-05-11
- 发明人: 李宗翰 , 林良达
- 申请人: 隆达电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学园区工业东三路3号
- 专利权人: 隆达电子股份有限公司
- 当前专利权人: 隆达电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学园区工业东三路3号
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国
- 优先权: 101142610 2012.11.15 TW
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68 ; H01L33/00
摘要:
本发明揭露一种晶粒定位装置、晶粒定位系统与晶粒定位方法。晶粒定位装置包含滚筒本体、多个晶粒吸取部与至少一气体控制装置。滚筒本体其内具有多个彼此互相隔离的空腔。晶粒吸取部条列位于滚筒本体表面。每一条列的晶粒吸取部是对应于一空腔,且每一晶粒吸取部均分别具有晶粒吸附区以及贯穿晶粒吸附区的气体通道。气体控制装置连接空腔,且设置于滚筒本体上。气体控制装置可选择性地对空腔抽气,使得每一位于抽气空腔上的晶粒吸取部可通过其气体通道将晶粒吸附至其晶粒吸附区,而当气体控制装置停止对抽气空腔抽气时,被吸附的晶粒将被释放至一预定位置。
公开/授权文献
- CN103811390A 晶粒定位装置、晶粒定位系统与晶粒定位方法 公开/授权日:2014-05-21
IPC分类: