光谱仪、其组装方法及组装系统
摘要:
本发明公开了一种光谱仪、其组装方法及组装系统,其中该光谱仪包括一波导模块、一衍射元件及一光感测器。波导模块具有一第一反射面、一相对于第一反射面的第二反射面及位于第一反射面与第二反射面之间的一光通道。衍射元件具有一衍射面及位于衍射面上的多个条状衍射结构。这些条状衍射结构在衍射面的一第一侧边的轮廓图清晰度大于在衍射面的一第二侧边的轮廓图清晰度。从垂直于第二反射面的方向上的位置来看,衍射面的第一侧边位于第一反射面与第二反射面之间,且衍射面的第一侧边与第二反射面保持一间距。
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