发明公开
CN103837708A 电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法
- 专利标题(英): Horizontal detecting device, levelling device and levelling method of workpiece in electrochemical system
-
申请号: CN201210492775.6申请日: 2012-11-27
-
公开(公告)号: CN103837708A公开(公告)日: 2014-06-04
- 发明人: 詹东平 , 韩联欢 , 袁野 , 胡振江 , 曹永智 , 赵学森 , 闫永达 , 田中群
- 申请人: 厦门大学 , 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 专利权人: 厦门大学,哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 厦门大学,哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋焰琴
- 主分类号: G01Q30/00
- IPC分类号: G01Q30/00 ; G01Q30/20 ; G01C9/00
摘要:
本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括:宏微位移平台;位移台,固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上,可在该X-Y平面上进行位移,电解池与该位移台相对静止;探针电极,固设于宏微位移平台确定的Z方向上,其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中,距离电解池内的工件预设距离;以及电化学工作站,其工作电极连接至探针电极,其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中,控制工作电极电位恒定,检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号,获得电流信号曲线,由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
公开/授权文献
- CN103837708B 电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法 公开/授权日:2016-03-09