电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法
摘要:
本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括:宏微位移平台;位移台,固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上,可在该X-Y平面上进行位移,电解池与该位移台相对静止;探针电极,固设于宏微位移平台确定的Z方向上,其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中,距离电解池内的工件预设距离;以及电化学工作站,其工作电极连接至探针电极,其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中,控制工作电极电位恒定,检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号,获得电流信号曲线,由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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