金(Au)合金键合线
Abstract:
本发明提供了在直径20μm以下的极细线的可进行几十万次连续键合的球键合线。在5N以上的高纯度金中含有合计5~2质量%的3N以上的高纯度Pd、Pt、Cu的一种以上而形成的金合金母体中分别含有5~50质量ppm的Ca、Mg、La、或进一步含有Be:1~20ppm和/或合计1~30质量ppm的Ce、Y以及Eu的一种以上作为微量添加元素,进一步的,含有合计为100ppm以下这些微量添加元素,由此抑制了熔融球表面的添加元素的表面偏析,且抑制了这些析出物或氧化物在键合时堆积在毛细管前端部导致形成回路时的线的滑动阻力的增加。通过维持这些毛细管的前端部的表面形状的光滑状态,抑制了线键合中的颈部损害和不接触等接合不良,使长时间的连续键合成为可能。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0