发明授权
- 专利标题: 微流体输送系统
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申请号: CN201310641651.4申请日: 2013-12-03
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公开(公告)号: CN103855083B公开(公告)日: 2019-07-16
- 发明人: A.P.J.M.博特曼 , S.兰多尔夫 , M.W.乌特劳特
- 申请人: FEI , 公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI,公司
- 当前专利权人: FEI,公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 马红梅; 徐红燕
- 优先权: 13/693938 2012.12.04 US
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H01L21/288 ; C25D7/12 ; C25F3/12
摘要:
在一些已知的实施例中,将少量液体分配到工件上的方法包括为从纳米分配器中流出的液体提供显微通道。在一些实施例中,对液体进行分配包括使用具有至少一个延伸至尖端的缝隙的纳米分配器对液体进行分配。一些方法包括对蒸发速率和液体流速进行控制以建立产生希望尺寸的泡沫的平衡。
公开/授权文献
- CN103855083A 微流体输送系统 公开/授权日:2014-06-11
IPC分类: