发明公开
- 专利标题: 软性元件的取出方法及衬底之间的分离方法
- 专利标题(英): Soft element taking-out method and substrates separating method
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申请号: CN201210569925.9申请日: 2012-12-25
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公开(公告)号: CN103855324A公开(公告)日: 2014-06-11
- 发明人: 施秉彝 , 陈光荣 , 彭依濠 , 黄重颍 , 叶树棠 , 陈光中
- 申请人: 财团法人工业技术研究院
- 申请人地址: 中国台湾新竹县
- 专利权人: 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人: 瀚宇彩晶股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 曹玲柱
- 优先权: 101144821 2012.11.29 TW
- 主分类号: H01L51/56
- IPC分类号: H01L51/56 ; H01L51/48
摘要:
一种软性元件的取出方法。提供第一载板,第一载板的第一表面具有第一离型区域,且第一软性衬底接附于第一离型区域上。提供第二载板,第二载板的第一表面具有第二离型区域,且第二软性衬底及至少一软性元件依次接附于第二离型区域上。将第一载板与第二载板接合,其中第一载板的第一表面面对第二载板的第一表面。进行第一取出步骤,使得第一载板与第一软性衬底分离,其中第一取出步骤至少包括将流体充入第一载板与第一载板的下方层之间的空间使所述空间呈现正压。另提出一种衬底之间的分离方法。
公开/授权文献
- CN103855324B 软性元件的取出方法及衬底之间的分离方法 公开/授权日:2016-08-03
IPC分类: