发明公开
- 专利标题: 分离上电极与冷却盘的装置
- 专利标题(英): Device for separating top electrode and cooling disk
-
申请号: CN201410117683.9申请日: 2014-03-27
-
公开(公告)号: CN103871936A公开(公告)日: 2014-06-18
- 发明人: 朱怀昊 , 季高明
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 林彦之
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01J37/32
摘要:
本发明公开了一种分离上电极与冷却盘的装置。其包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆,当需要对上电极进行维护时,操作人员操作所述操作杆时,所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后,以分离所述上电极与所述冷却盘。由于采用操作杆和分离臂机械配合的方式,使得分离臂可以匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙,因此,无须单纯的依靠蛮力硬性将工具插入到安装间隙中,避免了出现人为造成电极被损坏,同时也避免了上电极的边缘较为锋利导致的操作人员受伤。
公开/授权文献
- CN103871936B 分离上电极与冷却盘的装置 公开/授权日:2016-11-02