发明公开
- 专利标题: 肖特基势垒二极管及其制造方法
- 专利标题(英): SCHOTTKY BARRIER DIODE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
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申请号: CN201310661032.1申请日: 2013-12-09
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公开(公告)号: CN103872147A公开(公告)日: 2014-06-18
- 发明人: 千大焕 , 李钟锡 , 洪坰国 , 郑永均
- 申请人: 现代自动车株式会社
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 现代自动车株式会社
- 当前专利权人: 现代自动车株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 张英
- 优先权: 10-2012-0148601 2012.12.18 KR
- 主分类号: H01L29/872
- IPC分类号: H01L29/872 ; H01L29/06 ; H01L21/329
摘要:
本发明涉及一种肖特基势垒二极管及其制造方法,该肖特基势垒二极管包括n-型外延层,设置在n+型碳化硅基板的第一表面,多个n型支柱区域,设置在n+型碳化硅基板的第一表面的第一部分的n-型外延层中,多个p+区域,设置在n-型外延层的表面且与n型支柱区域分离,肖特基电极,设置在n-型外延层和p+区域上,以及欧姆电极,设置在n+型碳化硅基板的第二表面。n型支柱区域的掺杂密度大于n-型外延层的掺杂密度。
公开/授权文献
- CN103872147B 肖特基势垒二极管及其制造方法 公开/授权日:2018-05-11