采用等离子体射流制备高阻隔薄膜的方法
摘要:
本发明涉及一种采用等离子体射流制备高阻隔薄膜的方法,属于阻隔薄膜制作技术领域。其特点是等离子体发生装置为常压射流式等离子体发生装置,通过输气管路引入放电气体,同时有机硅单体由载气携带进入射流枪内,与放电气体混合,在高压电极与接地射流头之间放电产生等离子体,形成纳米级薄膜气相成分,射流枪由高压电源驱动,等离子体经射流枪射流头喷出,在基材上沉积形成阻隔薄膜。本发明方法相比于其他阻隔薄膜制作工艺,生产成本低,制备速度快,操作简便,无需真空设备,在大气压条件下即可完成,对规则或不规则的基材表面均可实施薄膜沉积,同时材料便于回收利用,安全环保,可广泛用于食品行业、医药行业、真空绝热板等高阻隔层的制备。
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