发明授权
- 专利标题: 采用等离子体射流制备高阻隔薄膜的方法
- 专利标题(英): Method of preparing high-barrier film by adopting plasma jet
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申请号: CN201410140035.5申请日: 2014-04-09
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公开(公告)号: CN103882412B公开(公告)日: 2015-03-11
- 发明人: 刘忠伟 , 陈强 , 赵高 , 原建松 , 曹庆波
- 申请人: 北京印刷学院 , 烟台鸿庆包装材料有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区兴华大街二段1号
- 专利权人: 北京印刷学院,烟台鸿庆包装材料有限公司
- 当前专利权人: 北京印刷学院,烟台鸿庆预涂新材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区兴华大街二段1号
- 代理机构: 烟台双联专利事务所
- 代理商 曲显荣
- 主分类号: C23C16/505
- IPC分类号: C23C16/505 ; C23C16/40
摘要:
本发明涉及一种采用等离子体射流制备高阻隔薄膜的方法,属于阻隔薄膜制作技术领域。其特点是等离子体发生装置为常压射流式等离子体发生装置,通过输气管路引入放电气体,同时有机硅单体由载气携带进入射流枪内,与放电气体混合,在高压电极与接地射流头之间放电产生等离子体,形成纳米级薄膜气相成分,射流枪由高压电源驱动,等离子体经射流枪射流头喷出,在基材上沉积形成阻隔薄膜。本发明方法相比于其他阻隔薄膜制作工艺,生产成本低,制备速度快,操作简便,无需真空设备,在大气压条件下即可完成,对规则或不规则的基材表面均可实施薄膜沉积,同时材料便于回收利用,安全环保,可广泛用于食品行业、医药行业、真空绝热板等高阻隔层的制备。
公开/授权文献
- CN103882412A 采用等离子体射流制备高阻隔薄膜的方法 公开/授权日:2014-06-25
IPC分类: