一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内，保持烧结炉内常压空气气氛，以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温，恒温4至10小时；将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第二高温；使烧结炉内温度在第三高温到第二高温的振荡区间内振荡5至30小时：当温度达到第二高温时，即以50-300摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第三高温，当温度达到第三高温时，即以150-300摄氏度每小时降低烧结炉内的温度直到温度达到第二高温，以20-200摄氏度每小时降至常温，即得氧化铟锡靶材。该技术方案应用成本低，产品质量高。