氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法

    公开(公告)号:CN103922703B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201410150111.0

    申请日:2014-04-15

    摘要: 一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内,保持烧结炉内常压空气气氛,以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温,恒温4至10小时;将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛,以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第二高温;使烧结炉内温度在第三高温到第二高温的振荡区间内振荡5至30小时:当温度达到第二高温时,即以50-300摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第三高温,当温度达到第三高温时,即以150-300摄氏度每小时降低烧结炉内的温度直到温度达到第二高温,以20-200摄氏度每小时降至常温,即得氧化铟锡靶材。该技术方案应用成本低,产品质量高。

    氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法

    公开(公告)号:CN103922703A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410150111.0

    申请日:2014-04-15

    摘要: 一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内,保持烧结炉内常压空气气氛,以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温,恒温4至10小时;将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛,以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第二高温;使烧结炉内温度在第三高温到第二高温的振荡区间内振荡5至30小时:当温度达到第二高温时,即以50-300摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第三高温,当温度达到第三高温时,即以150-300摄氏度每小时降低烧结炉内的温度直到温度达到第二高温,以20-200摄氏度每小时降至常温,即得氧化铟锡靶材。该技术方案应用成本低,产品质量高。