发明公开
- 专利标题: 金属互连结构的制作方法
- 专利标题(英): Manufacturing method of metal interconnection structure
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申请号: CN201310009778.4申请日: 2013-01-10
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公开(公告)号: CN103928394A公开(公告)日: 2014-07-16
- 发明人: 张城龙 , 张海洋
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768
摘要:
一种金属互连结构的制作方法,不同于现有的双构图方案,本发明提出首先以传统的单大马士革工艺在介电牺牲层内形成一组沟槽,并填入金属以形成金属互连结构的第一套金属图案,然后去除该介电牺牲层,以第一套金属图案这层金属为核心在其周围及之间形成厚度可精确控制的覆盖层,通过回蚀该覆盖层形成侧墙,填充该侧墙间的间隙形成第二套金属图案,上述回蚀过程中对侧墙间的间隙深度进行了加深,该加深处理能使后续填入其中形成的第二套金属图案与之前形成的第一套金属图案深度一致,如此完成金属互连结构的双构图工艺。由于第二套金属图案插入在第一套金属图案之间,实现了将图形密度加倍的目的。上述制作方法工艺简单,金属图案形状易于控制。
公开/授权文献
- CN103928394B 金属互连结构的制作方法 公开/授权日:2016-05-25
IPC分类: