一种共形结构气路防回流吹扫装置
摘要:
本发明提供一种共形结构气路防回流吹扫装置,包括密封舱体,反射镜座固定在所述密封舱体上,光窗设置在所述密封舱体上,并通过光窗压盖压紧固定在密封舱体上,其特征在于,还包括至少部分位于所述密封舱体内部的吹扫装置,用于对所述光窗进行吹扫。本发明采用气路与结构一体式设计,多部件装配实现气路连接,充分利用设备内部空间。本发明采用单向气阀密封材料采用橡胶,使得单向气阀设置较低弹簧压力满足非工作状态时的密封,设置弧面密封环与橡胶密封垫接触,降低密封垫使用磨损。本发明采用成组分布的吹扫喷口,分布范围覆盖大部分光窗范围。
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