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发明授权
CN104023993B 形成图案化的石墨烯层 有权

形成图案化的石墨烯层
摘要：
在衬底上形成图案化的石墨烯层的设备和方法。一种这样的方法包括：在衬底上形成碳化物形成金属或包含金属的合金的至少一个图案化结构；在所述衬底上的所述碳化物形成金属或包含金属的合金的至少一个图案化结构的顶上施加石墨烯层；在一环境中加热在所述碳化物形成金属或包含金属的合金的至少一个图案化结构的顶上的所述石墨烯层，以去除在所述碳化物形成金属或包含金属的合金的至少一个图案化结构附近的石墨烯区域；以及去除所述碳化物形成金属或包含金属的合金的至少一个图案化结构，以在所述衬底上产生图案化的石墨烯层，其中所述衬底上的所述图案化的石墨烯层为电子器件提供载流子迁移率。
摘要（英）：

An apparatus and method for forming a patterned graphene layer on a substrate. One such method includes forming at least one patterned structure of a carbide-forming metal or metal-containing alloy on a substrate, applying a layer of graphene on top of the at least one patterned structure of a carbide-forming metal or metal-containing alloy on the substrate, heating the layer of graphene on top of the at least one patterned structure of a carbide-forming metal or metal-containing alloy in an environment to remove graphene regions proximate to the at least one patterned structure of a carbide-forming metal or metal-containing alloy, and removing the at least one patterned structure of a carbide-forming metal or metal-containing alloy to produce a patterned graphene layer on the substrate, wherein the patterned graphene layer on the substrate provides carrier mobility for electronic devices.

公开/授权文献
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