发明授权
CN104048988B 软化点测定装置及热传导测定装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 软化点测定装置及热传导测定装置
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申请号: CN201410217170.5申请日: 2010-08-12
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公开(公告)号: CN104048988B公开(公告)日: 2017-06-13
- 发明人: 安藤和德 , 岩佐真行 , 繁野雅次 , 百田洋海 , 渡边和俊
- 申请人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 何欣亭; 刘春元
- 优先权: 2009-187479 20090812 JP
- 主分类号: G01N25/04
- IPC分类号: G01N25/04 ; G01N25/20
摘要:
提供一种软化点测定装置及热传导测定装置,以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时,通过仅在探针与样品的接触部进行热交换,不给测定点的周边部带来热影响,而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜为基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中,通过使探针和样品面的环境为1/100气压(103Pa)以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度,降低来自探针侧面的热逃逸,仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
公开/授权文献
- CN104048988A 软化点测定装置及热传导测定装置 公开/授权日:2014-09-17