发明公开
CN104051211A 一种高温高能离子注入机离子光学系统
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种高温高能离子注入机离子光学系统
- 专利标题(英): Ion optical system of high-temperature high-energy ion implanter
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申请号: CN201410243508.4申请日: 2014-06-04
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公开(公告)号: CN104051211A公开(公告)日: 2014-09-17
- 发明人: 孙雪平 , 张赛 , 易文杰 , 彭立波
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址: 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构: 长沙正奇专利事务所有限责任公司
- 代理商 马强
- 主分类号: H01J37/317
- IPC分类号: H01J37/317 ; H01J37/05
摘要:
本发明公开了一种高温高能离子注入机离子光学系统,包括离子源,所述离子源产生的离子通过引出系统后形成离子束,所述离子束依次通过质量分析器和分析光栏,所述分析光栏分析提纯后的离子束经过一对垂直扫描电极板,所述垂直扫描电极板将经分析提纯后的离子束扫描成扇形状束带,所述扇形状束带通过30°平行束透镜后形成平行的带状束,所述平行的带状束通过加速管加速后,经高温靶盘注入晶片。本发明能保证注入离子种类和能量精度,满足注入工艺需要晶片加热的要求。