一种高温高能离子注入机离子光学系统
摘要:
本发明公开了一种高温高能离子注入机离子光学系统,包括离子源,所述离子源产生的离子通过引出系统后形成离子束,所述离子束依次通过质量分析器和分析光栏,所述分析光栏分析提纯后的离子束经过一对垂直扫描电极板,所述垂直扫描电极板将经分析提纯后的离子束扫描成扇形状束带,所述扇形状束带通过30°平行束透镜后形成平行的带状束,所述平行的带状束通过加速管加速后,经高温靶盘注入晶片。本发明能保证注入离子种类和能量精度,满足注入工艺需要晶片加热的要求。
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