发明公开
CN104066874A 单晶制造装置所使用的籽晶保持轴以及单晶制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 单晶制造装置所使用的籽晶保持轴以及单晶制造方法
- 专利标题(英): Seed crystal isolating spindle for single crystal production device and method for producing single crystals
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申请号: CN201280067542.X申请日: 2012-12-27
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公开(公告)号: CN104066874A公开(公告)日: 2014-09-24
- 发明人: 加渡干尚 , 楠一彦
- 申请人: 丰田自动车株式会社 , 新日铁住金株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 丰田自动车株式会社,新日铁住金株式会社
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社,新日铁住金株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 刘航; 段承恩
- 优先权: 2012-010469 2012.01.20 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/083993 2012.12.27
- 国际公布: WO2013/108567 JA 2013.07.25
- 进入国家日期: 2014-07-18
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B19/06
摘要:
本发明的目的是提供一种与以往相比能够使SiC单晶更快生长的采用熔液法的单晶制造装置所使用的籽晶保持轴、和采用熔液法的单晶制造方法。一种籽晶保持轴,是采用熔液法的单晶制造装置所使用的籽晶保持轴,籽晶保持轴的侧面的至少一部分由具有比籽晶保持轴的反射率大的反射率的反射部件覆盖着,反射部件被配置成在反射部件和保持在籽晶保持轴的端面的籽晶之间空开间隔。
公开/授权文献
- CN104066874B 单晶制造装置所使用的籽晶保持轴以及单晶制造方法 公开/授权日:2017-03-22
IPC分类: