发明授权
CN104081501B 包含蛋白质的化学机械抛光(CMP)组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题： 包含蛋白质的化学机械抛光(CMP)组合物
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申请号： CN201380006888.3申请日： 2013-01-25
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公开(公告)号： CN104081501B公开(公告)日： 2019-02-01
- 发明人: Y·李 , B·M·诺勒 , M·劳特尔 , R·朗格
- 申请人： 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址： 德国路德维希港
- 专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址： 德国路德维希港
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 肖威; 刘金辉
- 优先权： 61/597,210 2012.02.10 US
- 国际申请： PCT/IB2013/050647 2013.01.25
- 国际公布： WO2013/118015 EN 2013.08.15
- 进入国家日期： 2014-07-28
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304 ; H01L21/302 ; H01L21/463 ; H01L21/461
摘要：
提供了化学机械抛光组合物。所述组合物包含(A)无机粒子、有机粒子或其混合物或复合物；(B)蛋白质；和(C)水性介质。
公开/授权文献
- CN104081501A 包含蛋白质的化学机械抛光(CMP)组合物 公开/授权日：2014-10-01
IPC分类:
