- 专利标题: 集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用
- 专利标题(英): MOTION SENSOR INTEGRATED NANO-PROBE N/MEMS APPARATUS, METHOD AND APPLICATIONS
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申请号: CN201280068948.X申请日: 2012-12-17
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公开(公告)号: CN104105655A公开(公告)日: 2014-10-15
- 发明人: A·拉尔 , K·阿姆庞萨
- 申请人: 康奈尔大学
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 康奈尔大学
- 当前专利权人: 康奈尔大学
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 北京万慧达知识产权代理有限公司
- 代理商 戈晓美; 杨颖
- 优先权: 61/576,455 2011.12.16 US
- 国际申请: PCT/US2012/070048 2012.12.17
- 国际公布: WO2013/090887 EN 2013.06.20
- 进入国家日期: 2014-08-04
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; B81C1/00 ; B81B7/00 ; G01N37/00 ; G01B21/30 ; G01Q70/00
摘要:
本申请公开了一种多尖端纳米探针装置,和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法,其均使用位于衬底上的:(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端;(2)相对于衬底的可移动的探针尖端;以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性,这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。
公开/授权文献
- CN104105655B 集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用 公开/授权日:2017-03-01