集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用
摘要:
本申请公开了一种多尖端纳米探针装置,和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法,其均使用位于衬底上的:(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端;(2)相对于衬底的可移动的探针尖端;以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性,这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。
0/0