本发明公开了一种可循环再用铜和铜合金表面的微蚀刻化学处理药剂；其包括如下重量百分数的组分：硫酸和/或硝酸1％～12％；硫酸铁和/或硝酸铁1.5％～25％；添加剂A 0.002％～0.1％；余量的去离子水；所述添加剂A为聚二硫二丙烷磺酸钠、3?巯基?1?丙烷磺酸钠、N,N?二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐、3?(苯骈噻唑?2?巯基)?丙烷磺酸钠中的一种或两种以上。本微蚀刻化学处理药剂提高了电解效率，降低能耗；避免阴极铜瘤的形成，降低了阳极击穿损毁的风险，大大简化生产控制和操作。