发明公开
- 专利标题: 波长为808nm的大功率激光器芯片结构及其制作方法
- 专利标题(英): High-power laser device chip structure with wavelength of 808nm and method for manufacturing high-power laser device chip structure
-
申请号: CN201410394081.8申请日: 2012-12-14
-
公开(公告)号: CN104124609A公开(公告)日: 2014-10-29
- 发明人: 罗飚 , 王任凡
- 申请人: 武汉电信器件有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 专利权人: 武汉电信器件有限公司
- 当前专利权人: 武汉电信器件有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 代理机构: 北京汇泽知识产权代理有限公司
- 代理商 张瑾
- 分案原申请号: 2012105416940 2012.12.14
- 主分类号: H01S5/02
- IPC分类号: H01S5/02 ; H01S5/343
摘要:
本发明涉及一种波长为808nm的大功率激光器芯片结构及其制作方法,所述大功率激光器芯片结构包括:在衬底(0)上依次生成的缓冲层(1)、第一渐变限制层(2)、第一波导层(3)、第二波导层(4)、第一量子阱垒层(5)、量子阱有源层(6)、第二量子阱垒层(7)、第三波导层(8)、腐蚀停止层(9)、第四波导层(10)、第二渐变限制层(11)、欧姆接触层(12)、绝缘介质层(13)、P型上电极(14)以及N型下电极(15)。通过所述制作方法获得的结构由于增加了P型InGaP构成的腐蚀停止层,便于控制腐蚀深度,对提高生产效率以及成品率起到很好的作用。