发明授权
CN104126217B 荷电粒子束装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 荷电粒子束装置
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申请号: CN201380010185.8申请日: 2013-02-20
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公开(公告)号: CN104126217B公开(公告)日: 2016-08-17
- 发明人: 南里光荣 , 富松聪 , 关原雄
- 申请人: 株式会社日立高新技术
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 曾贤伟; 文志
- 优先权: 2012-045128 2012.03.01 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/054217 2013.02.20
- 国际公布: WO2013/129209 JA 2013.09.06
- 进入国家日期: 2014-08-20
- 主分类号: H01J37/244
- IPC分类号: H01J37/244 ; H01J37/317
摘要:
提供一种能够高分辨率检测从试样(101)释放的荷电粒子(201),高灵敏度的荷电粒子束装置。在配置为与试样(101)接触,由此由于照射的荷电粒子束(104)在试样(101)产生的吸收电流在自身中流过来进行检测,通过荷电粒子束(104)在试样(101)上扫描取得吸收电流图像的荷电粒子束装置中,在离开试样(101)配置了吸收电流检测器(202)的情况下,吸收电流检测器(202)在通过荷电粒子束(101)的照射从试样(101)出射的荷电粒子束(201)入射时,将入射的荷电粒子束(201)作为信号电流(Ia)检测,该信号电流(Ia)依存于从荷电粒子束(104)在试样(101)上的照射位置向吸收电流检测器(202)的方向相对于试样(101)的表面的法线方向和荷电粒子束(104)的入射方向中的至少一个方向所形成的角度θ。
公开/授权文献
- CN104126217A 荷电粒子束装置 公开/授权日:2014-10-29