一种Al-Cu-N耐磨硬质涂层及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种Al-Cu-N耐磨硬质涂层,由AlN晶体相和Cu晶体相组成,其中,Cu晶体相分散在AlN晶体中,Cu晶体相和AlN晶体相之间的界面以Cu-Al键键合;所述的Al-Cu-N耐磨硬质涂层由原子百分含量74.6%~89%Al和N以及11%~25.4%的Cu元素构成。本发明Al-Cu-N耐磨硬质涂层具有良好的硬度和优异的耐磨损性能,磨损率低于4.0×10-16m3/Nm,达到了高耐磨性的要求,可广泛用于模具、机械零件等领域。本发明还公开了一种Al-Cu-N耐磨硬质涂层的制备方法,采用反应磁控溅射方法,可操作性强,可控性好,易于工业化生产,具有广阔的应用前景和良好的经济效益。
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