用于除去嵌段共聚物中的金属的方法和材料
Abstract:
本发明涉及处理嵌段共聚物溶液的方法,其中所述方法包括:提供包含在非水性溶剂中的嵌段共聚物的溶液;和使用阴离子交换树脂处理所述溶液以除去金属。本发明还涉及使用经处理的嵌段共聚物形成图案的方法。
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