Invention Grant
- Patent Title: 基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法
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Application No.: CN201410131232.0Application Date: 2014-04-02
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Publication No.: CN104183521BPublication Date: 2017-07-04
- Inventor: 木村吉希
- Applicant: 株式会社安川电机
- Applicant Address: 日本福冈县
- Assignee: 株式会社安川电机
- Current Assignee: 株式会社安川电机
- Current Assignee Address: 日本福冈县
- Agency: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- Agent 黄志华; 金丹
- Priority: 2013-107806 20130522 JP
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/66
Abstract:
本发明提供一种基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法，即使基板搬运机器人的臂较短，也能检测基板载置部上的基板的配置状态。在该基板搬运机器人（13）中，控制部（133）的结构为，在俯视时，在手部（131）相对于基板收装中心线（141）向基板搬运机器人的旋转中心（C1）侧倾斜的状态下，通过检测部（150）检测盒（30）内的基板（110）的配置状态。
Public/Granted literature
- CN104183521A 基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法 Public/Granted day:2014-12-03
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IPC分类:
