Invention Grant
- Patent Title: 基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统及方法
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Application No.: CN201410460960.6Application Date: 2014-09-11
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Publication No.: CN104191089BPublication Date: 2016-05-04
- Inventor: 杨海青
- Applicant: 苏州菲镭泰克激光技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市张家港保税区新兴产业育成中心A栋409A室
- Assignee: 苏州菲镭泰克激光技术有限公司
- Current Assignee: 苏州菲镭泰克激光技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市张家港保税区新兴产业育成中心A栋409A室
- Agency: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- Agent 赵郁军; 程凤儒
- Main IPC: G02B26/10
- IPC: G02B26/10

Abstract:
本发明公开了一种基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统及方法,包括激光器、X轴振镜、Y轴振镜,动态聚焦镜组、振镜控制单元及参数调整单元,动态聚焦镜组包括Z轴振镜及两片聚焦镜,Z轴振镜、两片聚焦镜、X轴振镜、Y轴振镜顺序设置于激光器发出的激光光路上;参数调整单元,依据不同的标刻位置,根据激光光束的光腰直径、发散角参数,获得Z轴振镜的调整位置,并将Z轴振镜的调整位置发送至振镜控制单元,由振镜控制单元控制Z轴振镜运动至调整位置。本发明有效提高了动态聚焦系统的光学透过率和焦平面内不同位置的光斑一致性,同时无需设置扩束镜,可降低光源的能量损耗、降低系统制造成本,提高加工效率和加工精度。
Public/Granted literature
- CN104191089A 基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统及方法 Public/Granted day:2014-12-10
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