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发明授权
CN104251920B 具有两个惯性传感器的传感器系统 有权

具有两个惯性传感器的传感器系统
摘要：
本发明涉及一种传感器系统，其具有至少两个微机械惯性传感器，所述至少两个微机械惯性传感器能够运动地与一个衬底连接，其中每一个惯性传感器具有一个功能层，其中所述两个惯性传感器的功能层的厚度不同，其中所述两个惯性传感器彼此并排地设置在所述衬底上。
摘要（英）：

A sensor system is described as including at least two micromechanical inertial sensors, which are movably connected to a substrate, each inertial sensor including a functional layer, the functional layers of the two inertial sensors varying in thickness, and the two inertial sensors being situated next to one another on the substrate.

公开/授权文献
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