一种基于长周期金属表面等离子体的波导热光开关及其制备方法，属于波导光开关及其制备技术领域。从下至上各层依次为：硅衬底(1)、下包层(2)、芯层波导(3)、掩膜层(8)、上包层层(10)均使用聚合物P(MMA-GMA)制作，折射率为1.48～1.51，下包层(2)和上包层(10)的厚度为8～13μm，掩膜层(8)的厚度为1～2μm；芯层波导(3)为M-Z干涉仪结构的金膜，金膜的厚度为20～25nm，其复折射率为0.55-11.5i。本发明的器件及其制作方法不仅能够有效改善LRSPP波导表面形貌，且无需利用LRSPP波导本身作为热电极，增强了开关结构的可靠性及寿命，器件成品率高，适合大批量生产。(10)和热电极(6)；下包层(2)、掩膜层(8)和上包