发明授权
- 专利标题： 滚动灰度光刻的DMD动作方法
-
申请号： CN201410508288.3申请日： 2014-09-26
-
公开(公告)号： CN104298077B公开(公告)日： 2016-07-06
- 发明人: 许家林 , 孙强
- 申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址： 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 专利权人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人： 长春长光中天光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 代理机构： 长春菁华专利商标代理事务所
- 代理商 张伟
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明涉及一种用于滚动灰度光刻的DMD动作方法，使用DMD多个微镜对光刻胶的单个像素进行曝光，DMD相对于光刻胶相对运动和曝光动作同时进行。本发明公开了DMD的具体动作的时序，DMD动作的微镜状态编码方法，DMD状态寄存器的存储RAM的更新方法，数据获取方法和大小。本发明的滚动灰度光刻的DMD动作方法使得光刻机能够连续光刻，并且刻蚀的图案是8位灰度图案。
公开/授权文献
- CN104298077A 滚动灰度光刻的DMD动作方法 公开/授权日：2015-01-21