发明授权
- 专利标题: 微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
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申请号: CN201410464700.6申请日: 2014-09-12
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公开(公告)号: CN104340955B公开(公告)日: 2016-04-20
- 发明人: 范继 , 涂良成 , 刘金全 , 王超
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 廖盈春
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; B81B7/00 ; G01L21/12
摘要:
本发明公开了一种微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
公开/授权文献
- CN104340955A 微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法 公开/授权日:2015-02-11