发明授权
- 专利标题： 含碱土金属的膜的沉积法
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申请号： CN201380030127.1申请日： 2013-06-28
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公开(公告)号： CN104350175B公开(公告)日： 2017-05-31
- 发明人: D·汤普森
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 黄嵩泉
- 优先权： 61/666,069 20120629 US 13/923,599 20130621 US
- 国际申请： PCT/US2013/048420 2013.06.28
- 国际公布： WO2014/004949 EN 2014.01.03
- 进入国家日期： 2014-12-08
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C23C16/06
摘要：
本发明描述在基板上进行化学反应以沉积金属膜的方法。该方法包括：使基板暴露于含有第二族金属的第一反应物气流及含有卤化物的第二反应物气流下，以在基板上形成含有金属卤化物的第一层；使该基板暴露于含有氧化剂的第三反应物气体下，以在基板上形成含有金属过氧化物或金属氢氧化物的第二层；使该基板暴露于热或等离子体下以将金属过氧化物或金属氢氧化物转化为金属氧化物。该方法可重复进行，藉以形成不含任何金属碳酸盐杂质的金属氧化物膜。
公开/授权文献
- CN104350175A 含碱土金属的膜的沉积法 公开/授权日：2015-02-11
IPC分类:
