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太阳能电池及其制造方法
摘要:
目的在于得到一种抑制缺陷的产生、光电变换效率高的太阳能电池。该太阳能电池具备形成有金字塔状的凹凸部P的n型单晶硅基板1的单晶体等的硅基板、和在该单晶硅基板上形成的非晶质或者微晶半导体层,在所述单晶硅基板的表面设置的金字塔状的凹凸部P的谷部形成了平坦部F。通过该结构,能够使由大致(111)面形成的70~85°的陡峭的凹部角度广角化为115~135°。因此,能够消除由倒角形状所引起的原子台阶状的形状变化,能够抑制非晶质或者微晶半导体层中的外延生长以及缺陷。
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