电容式加速度计
摘要:
本发明提供一种电容式加速度计,包括基板、检测质量块及至少一个支撑基座,支撑基座固定在所述基板上,检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面,在基板上相对设置有至少两个电极,电极分别对应于检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧,用于与检测质量块形成电容,所述支撑基座具有一支撑中心,所述电极具有一电极中心,所述支撑中心与所述电极中心重合,且所述支撑基座到所述支撑中心的平均距离与所述电极到所述电极中心的平均距离相等或近似相等。本发明的优点在于,所述支撑基座到所述支撑中心的平均距离与所述电极到所述电极中心的平均距离相等,导致电极间隙变化减小,从而使灵敏度变化减小,灵敏度更加稳定。
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