发明授权
- 专利标题: 电容式加速度计
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申请号: CN201310426346.3申请日: 2013-09-18
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公开(公告)号: CN104459199B公开(公告)日: 2018-01-26
- 发明人: 裘进
- 申请人: 上海矽睿科技有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区兴贤路1368号3幢3157室
- 专利权人: 上海矽睿科技有限公司
- 当前专利权人: 上海矽睿科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区兴贤路1368号3幢3157室
- 代理机构: 上海翼胜专利商标事务所
- 代理商 孙佳胤
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125
摘要:
本发明提供一种电容式加速度计,包括基板、检测质量块及至少一个支撑基座,支撑基座固定在所述基板上,检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面,在基板上相对设置有至少两个电极,电极分别对应于检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧,用于与检测质量块形成电容,所述支撑基座具有一支撑中心,所述电极具有一电极中心,所述支撑中心与所述电极中心重合,且所述支撑基座到所述支撑中心的平均距离与所述电极到所述电极中心的平均距离相等或近似相等。本发明的优点在于,所述支撑基座到所述支撑中心的平均距离与所述电极到所述电极中心的平均距离相等,导致电极间隙变化减小,从而使灵敏度变化减小,灵敏度更加稳定。
公开/授权文献
- CN104459199A 电容式加速度计 公开/授权日:2015-03-25
IPC分类: