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公开(公告)号：CN109798886B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201711137644.5
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
IPC: G01C19/5656
Abstract: 一种陀螺仪结构，包括：基板；固定于基板上的锚点；围绕锚点设置的悬空于基板上的多个质量块，包括：第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，所述多个质量块分别通过弹性连接组件连接至锚点；所述第一质量块、第二质量块在第一方向上相对设置，用于使第一质量块与第二质量块在动力驱动下沿第一方向作平移往返运动；第三质量块、第四质量块在第二方向上相对设置，第一质量块、第二质量块与第三质量块、第四质量块之间通过耦合部件连接，用于在第一质量块、第二质量块在第一方向作平移往返运动时，带动第三质量块和第四质量块在第二方向作平移往返运动，第二方向垂直于第一方向且位于同一平面内。所述陀螺仪的准确性和灵敏度得到提高。
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公开(公告)号：CN117760565A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410046364.7
申请日：2024-01-11
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种温度传感器、电子设备及温度传感器的制备方法。该温度传感器包括：承载晶圆，具有第一孔或槽、第二孔或槽、填充于第一孔或槽内的第一电连接部以及填充于第二孔或槽内的第二电连接部；CMOS组件，设置在承载晶圆上，且与第一电连接部电连接；第一介质层，形成在承载晶圆设置有CMOS组件的一侧，并覆盖CMOS组件；第一介质层具有第三孔或槽以及填充于第三孔或槽内的第三电连接部，第三电连接部与第二电连接部电连接；MEMS组件，设置在第一介质层上，且与第三电连接部电连接；及互联组件，设置在承载晶圆背离第一介质层的一侧，并与第一电连接部和第二电连接部电连接。
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公开(公告)号：CN117550546A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311459598.6
申请日：2023-11-03
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本申请涉及一种芯片制备方法，包括步骤：将盖板层与所述器件层键合；对所述器件层进行刻蚀，以在所述器件层上形成弹性结构；对所述盖板层进行刻蚀，以将部分所述第一绝缘层去除，使得所述盖板层的盖板晶圆部分暴露；将所述器件层背离所述盖板层的一侧与衬底层键合，所述器件层能够通过所述衬底层接地，且所述弹性结构能够在所述衬底层的作用下与暴露的所述盖板晶圆相抵接。弹性结构在衬底层的作用下与暴露的盖板晶圆相抵接，从而实现盖板晶圆通过器件层和衬底层接地。如此，无需在盖板晶圆上额外打线，从而避免增加封装厚度，不会产生额外的应力问题，保证芯片的性能。本申请还涉及一种芯片。
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公开(公告)号：CN110751245B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201910964561.6
申请日：2019-10-11
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种散养鸡活动记录系统及方法，属于运动监测技术领域，系统包括：计步模块，触发模块，接收模块，存储模块；方法包括：步骤S1，计步模块持续检测是否处于触发区域内，并在处于触发区域内时执行步骤S2；步骤S2，计步模块与当前所处的触发区域内的接收模块之间建立通讯连接，并将运动步数上传至接收模块；步骤S3，于运动步数上传完毕后断开通讯连接；上述技术方案有效果是：通过访问存储在存储模块内的运动步数信息，来获取鸡的散养行为的证据，增加消费者的信赖感，同时，散养鸡记录系统无需人工配合，便可实现准确有效的运动步数记录，减轻了养殖场工作人员的工作负担。
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公开(公告)号：CN117075153A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311023839.2
申请日：2023-08-15
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种广播星历异常确定方法、装置、电子设备及存储介质，属于卫星定位技术领域，其中，广播星历异常确定方法包括：获取目标基准站到目标卫星在同一历元下的目标伪距观测值和距离计算值；根据目标伪距观测值和距离计算值计算距离残差值；根据距离残差值和残差阈值确定目标卫星的广播星历是否异常。该方法通过对距离残差值与残差阈值的比较确来定目标卫星的广播星历是否存在异常，方法整体计算量较小，因此该方法可以快速确定广播星历是否存在异常，可以适用于移动终端等小型电子设备的定位解算。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116911034A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310898139.1
申请日：2023-07-20
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种磁阻传感器及其优化方法，涉及传感器技术领域，本申请的磁阻传感器的优化方法，包括：建立磁阻传感器的仿真模型，磁阻传感器包括构成惠斯通电桥的四个磁阻元件；获取固定参数值；根据灵敏度的计算式S＝f(Rmr,Rb,Rct,)在温度预设区间获得各个设计参数的各个仿真值对应的磁阻传感器的温度‑灵敏度曲线；计算各个设计参数的多个仿真值的磁阻传感器的温度灵敏度系数，并计算温度灵敏度系数的变化率；将温度灵敏度系数的变化率与变化率阈值进行比较，小于或等于变化率阈值时的各个设计参数对应的仿真值，作为设计参数的优化值。本申请提供的磁阻传感器及其优化方法，能够通过调整磁阻传感器自身的结构减小温度灵敏度的非线性。
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公开(公告)号：CN116068374A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310081097.2
申请日：2023-01-30
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
IPC: G01R31/28
Abstract: 本申请涉及一种圆测试有效性控制方法、装置、计算机设备和存储介质，该方法包括：获取对晶圆上的芯片进行晶圆测试得到的晶圆测试信息；将晶圆测试信息与晶圆对应的设定测试信息进行对比，得到比较结果；根据比较结果判断晶圆在进行晶圆测试过程中是否发生错位；若晶圆在进行晶圆测试过程中未发生测试错位，则确定晶圆测试的测试数据有效。当晶圆在晶圆测试过程中发生测试错位可及时发现，提高了检测准确性。
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公开(公告)号：CN115425141A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211156554.1
申请日：2022-09-22
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本发明揭示了一种三轴磁传感器及其制备工艺，所述三轴磁传感器包括形成有至少两个沟槽的衬底、第一磁感测机构、第二磁感测机构及第三磁感测机构；第一磁感测机构用以感测第一方向的磁场；第二磁感测机构用以感测第二方向的磁场；第三磁感测机构用以感测第三方向的磁场；第一磁感测机构和第二磁感测机构设置在衬底的表面，第三磁感测机构设置在沟槽内；通过至少一个第一磁感测机构和/或至少一个第二磁感测机构将至少一对相邻的沟槽间隔开。本发明可降低工艺加工误差，提高工艺窗口，改善产品的整体良率。
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公开(公告)号：CN110501522B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201910872020.0
申请日：2019-09-16
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种微机电系统的电容式加速度计，一种微机电系统的电容式加速度计，包括一检测板、一支撑基座、以及一可动结构，可动结构可旋转的连接于支撑基座上；支撑基座设置于检测板的第一中轴线和第二中轴线的交点；电容式加速计还包括：多个电极以第一中轴线为对称轴相对设置于检测板上；多个电极以第二中轴线为对称轴呈镜像对称设置于检测板上。发明技术方案的有益效果在于：通过改变电容式加速度计的结构，有效地降低了因支撑基座应力和检测板翘曲产生的零点漂移，从而提升电容式加速度计的检测精度。
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公开(公告)号：CN114608664A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210219121.X
申请日：2022-03-08
Applicant: 上海矽睿科技股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元，第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感测区域。在本方案中，处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差，可以实现流量的高灵敏检测。另外，处理器基于该温差，可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值，有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。
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